超濾膜(英文縮寫為UF)又稱為中空纖維超濾膜?？讖浇橛诜礉B透和微濾之間，約0.01～0.1μm，常用作純水系統(tǒng)的后處理裝置，可用于截留溶液中各種微粒、大分子溶質(zhì)、細(xì)菌、病毒、熱原等。超濾膜的孔徑是由一定分子量的物質(zhì)進(jìn)行截留試驗(yàn)測(cè)定的，并以分子量的數(shù)值來(lái)表示，能夠?yàn)V除熱原的超濾膜的分子量通常為5000道爾頓（Dalton）。
UPT-Ⅲ和UPH型超純水機(jī)設(shè)有系統(tǒng)自動(dòng)沖洗功能，系統(tǒng)定期自動(dòng)沖洗UF膜30秒，確保濾膜不被堵塞。
     終端微濾器單元即終端絕對(duì)過(guò)濾器(置于超純水系統(tǒng)的最終出水處)，實(shí)際是孔徑0.22μm的微孔濾膜過(guò)濾器，用于濾除超純水中殘留的樹(shù)脂碎屑和微生物。